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題名: Folded and Tapered-Beam Thermal Actuator
作者: Michael Sinclair;Wang, Kerwin
貢獻者: 機電工程學系
日期: 2003-05
上傳時間: 2012-06-06T01:42:43Z
關聯: SPIE First International Symposium on Microtechnologies for the New Millenium, Conference on Smart Sensors, Actuators, and MEMS (EMT101), Maspalomas, Gran Canaria (Canary Islands), Spain, May 19-21, 2003
顯示於類別:[機電工程學系] 會議論文

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