National Changhua University of Education Institutional Repository : Item 987654321/11373
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题名: Time-Multiplexed Plasma Etching of High Numerical Aperture Paraboloidal Micromirror Arrays
作者: Wang, Kerwin;Bohringer, Karl F.
贡献者: 機電工程學系
日期: 2003-07
上传时间: 2012-06-06T01:42:48Z
摘要: This paper presents a time-multiplexed plasma-etching method for high numerical aperture paraboloidal micromirrors. By designing the appropriate opening and spacing of etching windows, one can fabricate micromirror arrays with varying focal lengths within one batch.
關聯: The 5th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO/Pacific Rim 2003), Taipei, Taiwan
显示于类别:[機電工程學系] 會議論文

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