National Changhua University of Education Institutional Repository : Item 987654321/12322
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題名: 中部科學園區推動計畫---微機電與半導體晶片之精密定位系統
A Precision Positioning System for MENS and Semiconductor Chips
作者: 陳明飛;王宜明;吳孟軍;林義成;黃宜正
貢獻者: 機電工程系
日期: 2003-12
上傳時間: 2012-07-05T07:22:03Z
出版者: 行政院國家科學委員會
關聯: 計畫編號:NSC91-2218-E018-005; 研究期間:2002/12-2003/12
顯示於類別:[機電工程學系] 國科會計畫

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