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Item 987654321/18819
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http://ir.ncue.edu.tw/ir/handle/987654321/18819
題名:
微電子機械X-Y伺服位移平台之研製
Fabrication of a Micro-Mechanical X-Y Servo Translation Stage
作者:
吳仲卿
;
陳倬民
貢獻者:
物理學系
關鍵詞:
微電子機械系統
;
伺服
;
X-Y平台
;
壓電換能器
MEMS
;
Servo
;
X-Y stage
;
PZT
日期:
1996
上傳時間:
2014-08-06T05:02:10Z
摘要:
微電子機械是微電子高度發展後的成果,是利用微電子製造技術而完成一個或多個陣列元件的組合,並可結合各種電子、電機、機械、化工、光學等功能於單晶片上,建構一個高度整合系統。國內已有以微電子為背景的研究群著手於相關研究,但以機械為背景的研究群其成果仍有待觀察。本計畫是以機械類中最重要組件---伺服定位 X-Y平臺為主題,而將此定位平臺所需之傳動、感測、驅動、控制、安裝等功能整合於一單晶片上。計畫內傳動裝置將以滑槽導軌為主,以簡化如螺桿等複雜機構,感測以光纖測距簡化尺寸大小,驅動以PZT簡化馬達等複雜組件,控制則以單晶片或其他積體電路進行,安裝則考慮以一般IC 製造方式處理。若此一計畫完成後,期能對此微電子機械系統的製程、設計、組裝、控制等技術有所貢獻,並可望對國家精密工業有良好之助益。
關聯:
國科會計畫, 計畫編號: NSC85-2215-E018-001; 研究期間: 8408-8507
顯示於類別:
[物理學系] 國科會計畫
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