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Please use this identifier to cite or link to this item: http://ir.ncue.edu.tw/ir/handle/987654321/18835

Title: 中部科學園區推動計畫:奈米光電元件的製作與應用之研究
Fabrication and Applications of Nano-Opto-Electronic Devices
Authors: 吳仲卿;林秋薰;石豫臺;林得裕
Contributors: 物理學系
Keywords: 奈米光電元件;格式化基版;半導體量子點;低維度元件;電子束微影術;乾式離子蝕刻
Date: 2002
Issue Date: 2014-08-06T05:03:14Z
Abstract: 本計畫的執行主要在開發研究奈米光電元件的部分:包括 30 奈米以內直徑量子點發光元件的製作;間距在 100 奈米及更小光柵的製作,主要用途在濾波及波長選擇器的應用;及兆赫波感測元件的製作。本計畫在製程上是使用電子束微影術的技術,結合乾式離子蝕刻機。尤其電子束微影的技術,配合舉離製程或結合蝕刻技術,目前製程上的解析度可達 25 奈米的點陣列、及 80 奈米間距的光柵的能力,製作有關格式化基版及元件,開發及研製奈米級光電元件。並製作奈米點陣列,進行功能性場效及發光顯示器的研究及應用,及製作低維結構以進行區域性量子結構的特性量測。
Relation: 國科會計畫, 計畫編號: NSC91-2218-E018-003; 研究期間: 9112-9212
Appears in Collections:[物理學系] 國科會計畫

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