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Item 987654321/18835
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http://ir.ncue.edu.tw/ir/handle/987654321/18835
題名:
中部科學園區推動計畫:奈米光電元件的製作與應用之研究
Fabrication and Applications of Nano-Opto-Electronic Devices
作者:
吳仲卿
;
林秋薰
;
石豫臺
;
林得裕
貢獻者:
物理學系
關鍵詞:
奈米光電元件
;
格式化基版
;
半導體量子點
;
低維度元件
;
電子束微影術
;
乾式離子蝕刻
日期:
2002
上傳時間:
2014-08-06T05:03:14Z
摘要:
本計畫的執行主要在開發研究奈米光電元件的部分:包括 30 奈米以內直徑量子點發光元件的製作;間距在 100 奈米及更小光柵的製作,主要用途在濾波及波長選擇器的應用;及兆赫波感測元件的製作。本計畫在製程上是使用電子束微影術的技術,結合乾式離子蝕刻機。尤其電子束微影的技術,配合舉離製程或結合蝕刻技術,目前製程上的解析度可達 25 奈米的點陣列、及 80 奈米間距的光柵的能力,製作有關格式化基版及元件,開發及研製奈米級光電元件。並製作奈米點陣列,進行功能性場效及發光顯示器的研究及應用,及製作低維結構以進行區域性量子結構的特性量測。
關聯:
國科會計畫, 計畫編號: NSC91-2218-E018-003; 研究期間: 9112-9212
顯示於類別:
[物理學系] 國科會計畫
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